IDE

 IDE는 1990년에 설립된 회사이며, 정식 명칭은 Integrated Dynamics Engineering입니다. 제품에 대한 자료가 별로 없어서 예전에 일본 지사의 홈페이지를 참고했었는데 지금은 없어졌습니다. 특히 예전에 있었던 ATC 시리즈는 진동전달률 그래프 상의 제진 성능이 매우 뛰어나서(1Hz에서 -30dB 제진) 제진대의 실물이나 작동 방식 등이 궁금한 제품 중 하나입니다.

 

NGI 시리즈 제품 사진

1. 액티브 제진 모듈 NGI 시리즈

 특징

 최고로 뛰어난 제진 시스템.
 고압의 진공을 견디는 특허 기술.
 0.5Hz의 고유주파수.
 5Hz에서 -40dB 제진, 20Hz에서 -60dB 제진.
 스테이지 피드 포워드, 바닥 피드 포워드 제어 옵션.

 

TCN 시리즈 제품 사진

2. 액티브 제진 모듈 TCN 시리즈

 특징

 전 세계적으로 12,000대 이상 설치.
 0.7Hz부터 시작하는 넓은 영역의 제진 성능.
 매우 빠른 정착 시간(settling time).
 스테이지 피드 포워드, 바닥 피드 포워드 제어 옵션.

 

STC 시리즈 제품 사진

3. 액티브 제진 플랫폼 STC 시리즈

 특징

 샌드위치 타입의 제진 플랫폼.
 단단한 강철 스프링을 사용하여 고주파수의 진동에 뛰어난 제진 성능.
 컨트롤러가 통합된 컴팩트한 디자인으로 설치와 튜닝이 편리함.
 매우 빠른 정착 시간.
 스테이지 피드 포워드, 바닥 피드 포워드 제어 옵션.

 

진동전달률 [파랑: 패시브 제진, 빨강: 액티브 제진, 노랑: 고급 액티브 제진]

※ 아래의 그래프는 TCN 시리즈의 성능 그래프이며, 예전에 작성했던 자료에서 가져왔습니다.

진동전달률 [빨강: 수직, 검정: 수평] - 진폭이 1μm(P-P) 이하인 환경에서 측정

TCN-100 [왼쪽: 패시브, 오른쪽: 액티브] - X-Y 스테이지를 100N으로 가속/감속할 때의 응답