Newport (패시브)

 Newport의 패시브 제진대는 광학테이블 제진대, 광학 워크스테이션, 유닛형 제진대, 테이블탑 제진대 등이 있습니다.

 

1. 광학테이블 제진대

 - 감쇠층이 통합된 4.8mm 두께 상판의 광학테이블

 - 정밀하게 튜닝된 광학테이블 댐퍼 2개

 - 고성능 공압식 제진대

 - 제진대 내부의 2개의 챔버 사이에 층류 디스크 사용

 

 

 

Newport 광학테이블 제진대의 진동전달률 [왼쪽: 수직방향, 오른쪽: 수평방향]

 

2. 광학테이블 지지대 S-2000A

 - 수직방향 고유진동수가 1Hz에 달하는 최고 성능의

   공압식 제진대

 - 하이브리드 챔버로 제진 대역폭과 안정성을 최대화

 - 고정밀 레벨링, 반복정밀도 ±0.010 in. (0.25 mm)

 - 피스톤의 움직임을 제한하지 않는 특허받은 자동 중심 디자인

 - 평평하지 않은 바닥을 보정할 수 있도록

   조절 가능한 제진대 높이 (1.3 inch)

 - 수평방향 고유진동수: 1.5Hz (제진효율 5Hz: 85%, 10Hz: 95%)

   수직방향 고유진동수: 1Hz (제진효율 5Hz: 94%, 10Hz: 98%)

S-2000A의 진동전달률 [왼쪽: 수평방향, 오른쪽: 수직방향]

 

하이브리드 챔버 디자인

 제진대의 중요한 설계 목표 중 하나는 낮은 고유진동수입니다. 이는 제진대의 컴플라이언스 볼륨과 상관이 있으며, 부피가 클수록 주파수가 낮아집니다. 뉴포트의 스태빌라이저 하이브리드 챔버 디자인은 기존의 설계와는 달리, 작은 첫 번째 챔버와 두 번째 감쇠 챔버를 합친 통합형 하이브리드 챔버입니다. 첫 번째 챔버의 부피를 극단적으로 줄였기 때문에 두 번째 챔버를 컴플라이언스 볼륨으로 사용하게 되고, 이는 컴플라이언스 볼륨의 부피를 증가시키며, 고유진동수를 크게 낮춥니다.

Newport의 Stabilizer Hybrid Chamber Design

 

감쇠 효율을 높이는 층류(Laminar Flow) 기술

 제진대의 또 다른 성능 지표는 감쇠 효율입니다. 이는 댐퍼를 통과하는 공기 흐름 및 압력 강하에 비례합니다. Newport는 제진대의 설계에 층류 감쇠를 적용하여, 경쟁사의 단일 오리피스나 얇은 튜브에 비해 감쇠 효율을 크게 향상시킵니다. 두 챔버를 연결하는 층류 디스크는 피스톤 운동과 감쇠 챔버 공기 흐름 사이의 연결성을 개선합니다. 이는 공진의 증폭을 감소시키고, 제진 대역폭과 정착 시간을 향상시킵니다. 또한 S-2000A는 매우 부드러운 다이어프램으로 강성을 감소시켜, 수직방향 제진 성능을 더욱 향상시킵니다.

Laminar-flow 오리피스와 단일 오리피스 비교

 

수평방향 제진을 위한 삼중 진자 설계

 S-2000의 뛰어난 수평방향 제진은 기계적 필터 시스템 덕분입니다. 마찰이 없는 삼중 진자 시스템으로 진동을 감소시키고, 외란이 발생한 테이블의 위치 복귀 정밀도를 향상 시킵니다.

삼중 진자 설계

 

모듈식 지지대

 S-2000A 광학테이블 지지대는 모듈형 지지대 기반으로 제작되었습니다. 다양한 높이의 교체 가능한 스페이서를 사용하면 저렴한 비용으로 높이를 변경할 수 있습니다.

모듈식 지지대

 

3. NewDamp 탄성 제진대

 - 매우 높은 감쇠 계수

 - 변화 없는 고유진동수로 더 나은 제진

 - 공압식, 기계식 스프링 마운트 대체 가능

 - 클린룸에서 사용 가능

 - 빠른 정착 시간(Settling Time)

 

 

ND20의 하중별 고유진동수 [빨강: 수직, 파랑: 수평]와 ND40의 정착 시간

 

4. 기계식 제진대 VIB320X

 - 지름 2.7 in. (약 6.8cm)

 - 최대 하중 180파운드 (약 81kg)

 - 에어 호스나 컴프레서가 필요 없는 기계식 제진대

 - 경제적이고, 유지보수가 필요 없는 현미경용 제진대

 - 고유진동수: 약 3.25Hz

 

5. 에어 제진마운트

 - 낮은 높이, 고용량 공압 탄성 마운트

 - 더 나은 제진을 위한 단단한 측면 설계

 - 레벨링 밸브, 압력계, 필터, 레귤레이터가 필요 없음

 - 공기압 없이 지지 및 제진 가능

 

6. 소형 공압식 제진대

 - 반응 속도가 빠른 레벨링 밸브 내장

 - 자동 중심 피스톤으로 수평방향 제진 불가 상황 방지

 - 0.6mm의 레벨링 정밀도

 - 수평방향 고유진동수: 3.6Hz (제진효율 10Hz: 80%)

   수직방향 고유진동수: 3.2Hz (제진효율 10Hz: 84%)

소형 공압식 제진대의 진동전달률 [왼쪽: 수직방향, 오른쪽: 수평방향]

CM-225의 측면도

 

7. 벤치탑 제진대

 - 최대 하중 101kg (225 파운드)

 - 5Hz부터 제진이 되는 CM-225 공압식 제진대 내장

 - 위치 정밀도 개선을 위해 레벨링 밸브 내장

 - 클린룸 사용을 위해 스테인리스 스틸 상판 적용 가능

 - 수평방향 고유진동수: 3.6Hz (제진효율 10Hz: 96%)

   수직방향 고유진동수: 3.2Hz (제진효율 10Hz: 90%)

벤치탑 제진대의 진동전달률 [왼쪽: 수직방향, 오른쪽: 수평방향]