Active Vibration Isolator6 액티브 제진대에 대해서 - 1 이번에는 액티브 제진대에 대해서 이것저것 알아볼 텐데 인터넷에 공개되어 있는 자료를 참고하여 제진대의 구조나 작동 방식 등에 대해서 살펴보겠습니다. 액티브 제진대를 최초로 개발한 TableStable의 TS 제품의 내부 사진은 아래와 같습니다. 가속도 센서의 신호가 가운데에 있는 제어 기판에 전달되고, 제어 기판이 VCM을 제어하는 방식입니다. VCM은 수직 4개, 수평 4개가 있는데 가속도 센서도 똑같이 수직 4개, 수평 4개가 있습니다. 사진의 네 귀퉁이에 있는 황동색 구조물은 수직 방향 VCM이며, 바로 옆에는 가속도 센서로 스프링이 달린 피에조일렉트릭 디스크가 자리하고 있습니다. 수직 방향 VCM 사이에는 VCM을 눕혀서 45도 방향으로 설치한 수평 방향 VCM이 있으며, 수평 방향 VCM 뒤에는.. 2022. 4. 13. 액티브 제진대 - 머리말 디스플레이나 반도체 생산 공장을 살펴보면 주로 고층 건물이 많습니다. 그런데 진동은 건물의 높이가 높을수록 심하기 때문에 건물을 아무리 튼튼하게 짓는다 해도 7층이 1층보다 더 나은 진동 환경을 가질 가능성은 매우 희박합니다. 게다가 각종 장비들의 부속 장비와 배관, 배선 등의 설치를 위한 공간 때문에 1, 2층과 같이 낮은 층에 공정실을 만드는 회사는 거의 없기 때문에, 제작 공정이 지속적으로 발전하면서 기존의 제진대로는 장비의 진동 조건을 만족시키기 힘든 상황이 발생할 수 있습니다. 이러한 상황에서 액티브 제진대(Active Isolator)의 사용을 고려하게 됩니다. 물론 튼튼한 기초 공사와 진동 발생을 최소화하는 장비 배치나 장비 설계 등으로 진동 문제를 해결할 수도 있지만, 그러한 해결책을 사용.. 2022. 3. 15. 이전 1 2 다음
