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제진대38

액티브 제진대의 센서와 액추에이터 액티브 제진대의 핵심 부품이라고 할 수 있는 센서와 액추에이터에 대해서 알아보겠습니다. 먼저 센서는 주로 가속도 센서나 속도 센서, 변위 센서를 사용합니다. 변위 센서는 주로 공압식 제진대에 사용하며, 제진대의 상판이 일정한 위치를 유지할 수 있도록 거리를 측정하는 역할을 합니다. 크게 접촉식, 비접촉식 변위 센서가 있으며, 제품에 따라 다르겠지만 일반적으로 비접촉식보다는 접촉식 변위 센서가 좀 더 저렴한 편입니다. 일본의 공압식 액티브 제진대는 거의 대부분이 비접촉식 변위 센서를 사용하고 있으며, TMC의 전자식 공압 제진대인 PEPS도 같은 종류의 센서를 사용합니다. 반면에 Bilz의 EPPC는 Genge & Thoma AG라는 회사의 접촉식 변위 센서를 사용하고 있습니다. 비접촉식 변위 센서는 레이.. 2022. 12. 22.
액티브 제진대에 대해서 - 5 지금까지 액티브 제진대에 대해서 알아봤지만 그래도 복잡하다고 느끼실 분들을 위해서 전체적인 내용을 요약하며 마치고자 합니다. 먼저, 탁상형 액티브 제진대는 크게 TableStable, Accurion이나 일본의 회사들(병렬식), TMC의 제품(직렬식)으로 구분할 수 있습니다. TableStable은 LFS라는 부가 기능을 통해서 Floor Feed Forward 제어를 추가할 수 있고, Accurion에는 아직 그러한 기능이 없습니다. 바닥 피드포워드 제어를 추가하면 저주파수의 제진 성능이 증가하며, 전체적으로 대략 5~20dB 정도 제진 성능이 향상되는 것을 진동전달률 그래프를 통해 확인할 수 있습니다. 일본 제품의 제진 성능 그래프를 보면 기본적으로 바닥 피드포워드 제어 기능이 있는 것으로 예상되며,.. 2022. 8. 4.
액티브 제진대에 대해서 - 4 TMC는 Serial 방식의 액티브 제진대를 제조하는 유일한 회사로 액티브 제진대를 직렬(Serial)식과 병렬(Parallel)식으로 구분하고 있는데, 그와 동시에 직렬식 액티브 제진대의 우수성을 내세우고 있습니다. TMC에 의하면 직렬식 액티브 제진대의 장점은 병렬식에 비해 간단한 셋업, 뛰어난 저주파수 대역의 제진 성능, 넓은 액티브 제진 대역폭 등이 있습니다. 병렬식 액티브 제진대의 장점은 뛰어난 성능, 스테이지 이동에 따른 외란의 제어 등이 있고, 단점은 셋업이 어려우며, 바닥 진동에 대한 액티브 제진 대역폭이 제한적인 것이라고 합니다. 이에 대해 TableStable의 John Sandercock 박사는 아래의 첨부파일과 같이 '직렬식, 병렬식 액티브 제진 시스템의 미신'이라는 자료를 통해서 .. 2022. 6. 29.
액티브 제진대에 대해서 - 3 공압식 액티브 제진대는 제품의 구조나 특성상 대다수의 업체들이 유사한 부품을 채용하는 편인데, 특히 일본의 액티브 제진대에서 그러한 경향을 확인할 수 있습니다. 예를 들어, 쇼와 사이언스와 쿠라시키 카코의 공압식 액티브 제진대 제품 사진에는 변위센서와 가속도센서(가속도계), 서보밸브가 똑같이 존재하며, 각각의 부품의 생김새 또한 비슷한 것을 확인할 수 있습니다. 그리고 아래는 쿠라시키 카코의 리니어 타입 액티브 제진대인데, 변위센서와 가속도센서가 있고, 서보밸브 대신에 공압식 레벨링 밸브와 리니어 모터가 있는 것을 확인할 수 있습니다. 액티브 제진대의 가속도센서 중에서 제품의 상부에 붙어 있는 것은 피드백 제어용이고, 하부에 붙어 있는 것은 바닥 피드포워드 제어용입니다. 위의 사진들을 자세히 보면 아시겠.. 2022. 5. 14.