제진대39 액티브 제진대에 대해서 - 3 공압식 액티브 제진대는 제품의 구조나 특성상 대다수의 업체들이 유사한 부품을 채용하는 편인데, 특히 일본의 액티브 제진대에서 그러한 경향을 확인할 수 있습니다. 예를 들어, 쇼와 사이언스와 쿠라시키 카코의 공압식 액티브 제진대 제품 사진에는 변위센서와 가속도센서(가속도계), 서보밸브가 똑같이 존재하며, 각각의 부품의 생김새 또한 비슷한 것을 확인할 수 있습니다. 그리고 아래는 쿠라시키 카코의 리니어 타입 액티브 제진대인데, 변위센서와 가속도센서가 있고, 서보밸브 대신에 공압식 레벨링 밸브와 리니어 모터가 있는 것을 확인할 수 있습니다. 액티브 제진대의 가속도센서 중에서 제품의 상부에 붙어 있는 것은 피드백 제어용이고, 하부에 붙어 있는 것은 바닥 피드포워드 제어용입니다. 위의 사진들을 자세히 보면 아시겠.. 2022. 5. 14. 액티브 제진대에 대해서 - 2 탁상형 및 바형 액티브 제진대는 주로 코일 스프링을 댐퍼로 사용하며, 보이스 코일 모터(VCM)를 액추에이터로 사용합니다. 그리고 가속도 센서나 속도 센서로 진동을 감지합니다. TableStable과 Accurion은 Piezoelectric Disc가 들어가는 가속도 센서를 사용하는데, Geophone이라는 속도 센서를 사용하는 회사도 있습니다. 탁상형 액티브 제진대의 또 다른 특징 중 하나는 자동 하중 조절인데, 지금은 거의 대부분의 업체들이 해당 기능을 제공하고 있습니다. 다만, TableStable의 AVI 시리즈나 Accurion의 Vario 시리즈와 같은 바형 제진대는 스패너나 높이 조절 장치를 사용하여 수동으로 하중 조절을 해야 합니다. 하중 조절을 하지 않으면 액티브 제진 성능이 떨어지거나.. 2022. 4. 21. 액티브 제진대에 대해서 - 1 이번에는 액티브 제진대에 대해서 이것저것 알아볼 텐데 인터넷에 공개되어 있는 자료를 참고하여 제진대의 구조나 작동 방식 등에 대해서 살펴보겠습니다. 액티브 제진대를 최초로 개발한 TableStable의 TS 제품의 내부 구조는 아래와 같습니다. 가속도 센서의 신호가 가운데에 있는 제어 기판에 전달되고, 제어 기판이 VCM을 제어하는 방식입니다. VCM은 수직 4개, 수평 4개가 있는데 가속도 센서도 똑같이 수직 4개, 수평 4개가 있습니다. 사진의 네 귀퉁이에 있는 황동색 구조물은 수직 방향 VCM이며, 바로 옆에는 가속도 센서인 스프링이 달린 피에조일렉트릭 디스크가 자리하고 있습니다. 수직 방향 VCM 사이에는 VCM을 옆으로 눕혀서 45도 방향으로 설치한 수평 방향 VCM이 있으며, 수평 방향 VCM.. 2022. 4. 13. Vibration Criteria (진동 기준) Vibration Criteria는 진동을 평가하는 기준으로 Vibration Criterion이라고도 하며, 줄여서 VC라고 부르기도 합니다. Colin G. Gordon이라는 사람이 동료들과 함께 만들어낸 기준으로 SPIE를 통해 1991년에 발표했습니다. 처음에는 VC-A부터 VC-E까지만 있었으나 시간이 지나면서 개정되어 지금은 VC-G까지 추가되었습니다. 그리고 VC-G까지 추가되면서 VC-C~E의 8Hz 이하의 최대치가 변경되었는데, 아무래도 미세 공정이 발달하면서 8Hz 이하의 진동도 중요한 요인이라 생각하게 되어서 바뀐 것 같습니다. VC 곡선은 최대치(Max Level)와 상세 크기(Detail Size)로 구성되어 있는데, 최대치의 단위는 1/3 옥타브 주파수의 속도 rms이고, 상세 .. 2022. 3. 21. 이전 1 2 3 4 5 6 7 8 ··· 10 다음
