倉敷化工株式会社 (패시브)

 구라시키 카코의 패시브 제진대는 유닛형, 탁상형, 테이블형 등이 있습니다.

 

1. 패시브 제진 유닛 PST

 - 작은 크기에 고성능

 - 짐벌 피스톤을 채용

 - 모든 제품의 높이를 185mm로 통일

 - 가변 오리피스를 통해 제진(除振) 성능과

   제진(制振) 성능의 균형을 최적으로 조절 가능

   제진(除振) : 진동이 짧은 시간 내에 멈추도록 하는 것

   제진(制振) : 외부의 진동이 장비에 전달되지 않도록 하는 것 

   수직방향 고유진동수: 1.5~2.0Hz 또는 2.0~2.5Hz

   수평방향 고유진동수: 1.5~1.8Hz

 ※ 돔 짐벌 피스톤 기술을 적용한 제품은 수평방향 고유진동수가 0.8~1.0Hz입니다.

위에서부터 PST-308의 진동전달률 그래프[왼쪽: 수직방향, 오른쪽: 수평방향] 및 가변 오리피스 조작에 따른 성능 그래프[왼쪽: 진동전달률, 오른쪽: Settling Time(정착시간)]

 

2. 패시브 제진 유닛 PST-D (댐퍼 포함)

 - 최적 설계된 댐퍼를 통해 스테이지 이동 시의

   흔들림을 억제합니다.

 - 서포트 밸브 시스템: 스테이지 등과 같이 큰 무게 중심이

   이동하는 장치를 제진하는 경우, 스테이지의 기울기를

   빠르게 수평 복귀시키려면 대량의 에어를 급배기하는 빠른

   제어가 필수적입니다. 이를 가능하게 하는 것이 서포트 밸브

   시스템입니다.

   수직방향 고유진동수: 1.8~2.5Hz

   수평방향 고유진동수: 1.5~2.0Hz

댐퍼 유무에 따른 성능 차이[파란색: 댐퍼 없음, 빨간색: 댐퍼 있음]와 서포트 밸브 유무에 따른 성능 차이[녹색: 서포트 밸브 있음-조정 패턴1, 하늘색: 서포트 밸브 있음-조정 패턴2, 빨간색: 서포트 밸브 없음] 그래프

 

3. 패시브 제진 유닛 PSB-D (댐퍼 내장)

 - 뛰어난 제진 성능

 - 댐퍼 내장으로 장치의 흔들림을 빠르게 수렴

 - 레벨링 밸브로 높이 조절 가능

 - 하한 스토퍼 내장

 - 클린룸에서 사용 가능

 - 서포트 밸브 시스템 옵션 선택 가능

   수직/수평방향 고유진동수: 약 3Hz

 - 댐핑방식: 실리콘 오일

 

4. 탁상형 제진대

50(기본형), 50C(클린룸용), 51(에어 댐퍼 방진고무), 52(스틸 허니콤 정반), 53(전자 저울용)

 - 고유진동수

    50, 50C, 52S 수직방향 약 2.5Hz

    51 수직방향 약 7.5Hz

    52 수직방향 약 40Hz, 수평방향 약 18Hz

진동전달률 [왼쪽: 50 모델, 오른쪽: 51 모델]

53 모델의 진동전달률 [왼쪽: 수직방향, 오른쪽: 수평방향]

 

5. 테이블형 제진대 71S

 - 짐벌 피스톤 사용

 - 고성능 사양의 돔 짐벌 피스톤 (옵션)

 - 다양한 옵션

 - 스틸 허니콤 정반 채용

 - 자동 레벨링 기능 포함

 - 고유진동수 수직: 1.8Hz, 수평: 1.1~1.3Hz

 

71S 모델의 진동전달률 [왼쪽: 수직방향, 오른쪽: 수평방향]

 

6. 콤포 마운트

 - 오리지널 감쇠 기구와 코일 스프링을 조합한 하이브리드 마운트

 - 취급이 간단

 - 에어 공급이 필요 없음

 - 메인테넌스 필요 없음

 - 수평 고유진동수와 수직 감쇠의 시너지 효과로 제진 성능 향상

 

콤포 마운트의 진동전달률 [왼쪽: 수직방향, 오른쪽: 수평방향]

콤포 마운트의 감쇠 시간 파형 [왼쪽: 수직방향, 오른쪽: 수평방향]