明立精機株式会社 (패시브)

 메이리츠의 패시브 제진대는 정반형, 데스크형, 탁상형, 유닛형으로 총 16가지가 있는데 그중에서 몇 가지만 소개해드리겠습니다.

 

1. 정반형 AYA 시리즈

 - 메이리츠 세이키의 독자적인 병렬 스윙 기구

   2인승 그네가 전후와 좌우 양방향으로 동시에 움직이는 것과 같은

   병렬 스윙 기구를 내장. 이로 인해, 수평 방향의 고유진동수는 기존의

   1/3 이하인 0.5Hz를 달성.

 - 가변 오리피스 및 신소재 αGEL을 이용한 신형 댐퍼를 장착.

 - 충격 흡수 및 제진이 뛰어난 αGEL

 - 고유진동수

   수직방향: 1.1Hz 또는 1.2Hz, 수평방향: 0.5Hz 또는 0.8Hz

AYA-2415K4의 진동전달률 [왼쪽: 수직방향, 오른쪽: 수평방향]

 

2. 데스크형 ADZ-A 시리즈

 - 수직, 수평 방향 모두 우수한 제진 성능

 - 사용자의 관점에서 생각한 디자인

 - 풍부한 옵션

 - 스틸 허니콤 광학 정반을 채용

 - 수직방향 제진은 다이어프램형 공기스프링,

   수평방향 제진은 방진고무

 - 고유진동수

   수직방향: 1.2~1.5Hz 또는 1.5~1.8Hz

   수평방향: 1.2~1.5Hz 또는 1.5~1.8Hz

ADZ-A0806의 진동전달률 [왼쪽: 수직방향, 오른쪽: 수평방향]

 

3. 데스크형 FD 시리즈

 - 코일 스프링식 제진대

 - 장비의 무게중심이 탑재반의 중심을 벗어나는 장치에 적용 가능

 - 고유진동수: 2.5Hz

FD 시리즈의 구조도와 수직방향 진동전달률

 

4. 탁상형 AVS 시리즈

 - 클린룸에서 사용 가능한 탁상형 제진대

 - 작은 크기에 고성능 공기스프링 제진 시스템

 - 조정이 필요 없는 자동 레벨 유지 타입

 - 고유진동수: 2.5Hz

 

 

 

 

5. 유닛형 AP 시리즈

 - 기술과 실적이 빛나는 메이리츠의 공기스프링 제진 시스템

 - 범용성 있는 유닛 타입

 - 높이는 185mm로 통일 (부상 시)

 - 다양한 하중을 커버 가능

 - 클린룸에서 사용 가능

 - 이동 하중에 대한 높은 대응성

 - 고유진동수: 2.5~3.0Hz

 

 

AP-120의 수직방향 진동전달률

 

6. 유닛형 AP-C 시리즈

 - 수평방향의 제진 성능 강화

 - 범용성 있는 유닛 타입

 - 높이는 150mm로 통일

 - 레벨 유지 센서로 수평 유지

 - 고유진동수 수직방향: 2.0Hz ,수평방향: 1.5Hz

 

 

 

 

 

7. 유닛형 AP-MKH 시리즈

 - 최고 등급의 패시브 제진 성능과 스테이지나 가동부가 있는

   장비에도 사용 가능한 낮은 고유진동수의 제진 유닛

 - 높은 정밀도와 고성능이 필요한 제조장치에

   뛰어난 제진 성능을 제공

 - 고유진동수 수직: 1.5~2.0Hz, 수평: 0.7.~1.0Hz

 

 

 

 

8. 유닛형 MKB 시리즈

 - 고하중 정밀 기기의 제진을 저비용으로 실현

 - 공기스프링, 오일댐퍼, 레벨 유지 센서 일체형의 제진대

 - 모든 모델의 높이를 155mm로 통일

 - 고유진동수 수직: 3.5~4.3Hz, 수평: 3.0~3.8Hz