株式会社 昭和サイエンス (Showa Science) - 패시브

 쇼와 사이언스의 패시브 제진대는 정반형, 데스크형, 탁상형, 공기스프링 유닛형 3가지로 총 6 종류가 있으며, 종류별로 또 여러 가지 모델이 있는데 그중에서 일부만 소개하겠습니다.

 

1. 정반형 OSD

 - 서보시스템 최상위 모델

 - 스윙암 기구와 전방위 댐퍼를 탑재한 최고성능 타입

 - 스윙암 기구는 진자의 원리와 암의 굽힘 강성을

   응용한 것으로, 전용개발한 공기스프링 유닛과

   병용하여 한층 더 뛰어난 성능을 실현

 - 고유진동수

   수직방향: 약 1.0Hz, 수평방향: 약 0.5Hz

 

2. 정반형 ORD

 - 서보시스템 엔트리 모델

 - OSD형에 육박하는 제진 특성을 자랑하는 올라운드 타입의

   고성능 서보 시스템

 - 전용개발한 고감쇠 비스커스 댐퍼를 탑재하여 안정적인

   제진 성능 실현

 - 고유진동수

   수직방향: 약 2.0Hz, 수평방향: 약 1.4Hz

 

3. 데스크형 ND

 - 고성능 공기스프링으로 수평방향 0.5Hz의 낮은 고유진동수

 - 자동 레벨 조정기로 정반의 수평을 일정하게 유지

 - 고유진동수

   수직방향: 약 1.0Hz, 수평방향: 약 0.5Hz

 

 

 

 

4. 데스크형 CD/CDH

 - 공기스프링 방식의 제진테이블

 - 자동 레벨 조정기로 항상 정반의 수평을 일정하게 유지

 - 고유진동수

   수직방향: 약 1.2Hz, 수평방향: 약 1.8Hz

 

 

 

5. 탁상형 ST-X

 - 업계 최초로 20mm의 높이를 실현

 - 신개발 ST-X 유닛 채용으로 공기스프링과 동등한

   제진 성능을 달성한 하이엔드 모델

 - 정반을 극한으로 슬림화, 현미경 시스템의 조작성이 뛰어나게 향상

 - 고유진동수

   수직방향: 약 5.5Hz, 수평방향: 약 2.7Hz

 

6. 탁상형 PB-5AA

 - 업계 최고 수준으로 얇은 높이 61mm와 자동 레벨 조정 기능

 - 패시브 탁상형 제진대의 하이엔드 모델

 - 편하중에 대응하여 자동으로 공기스프링의 레벨을 조정하여

   수평을 유지

 - 핀 레버 밸브를 On/Off 하여, 에어를 단시간(약 2초)에 급기,

   배기하므로, 기기 조정시의 흔들림을 해결

 - 고유진동수(수직, 수평): 약 2.5Hz

 

7. 벨로우즈식 공기스프링 유닛 AT 시리즈

 - 수평, 수직 모두 대형 패시브 유닛 중 가장 뛰어난 제진 성능

 - 공기스프링 내부에 감쇠 기구 및 과부상 방지 기구 내장

 - 자동 레벨 조정기와 조합하여 스테이지가 이동하거나,

   중량이 변하더라도 정반(작업면)을 일정한 높이로 유지

 - 내구성이 높은 특수 고무를 사용하여 고속 스테이지에도 대응

 - 레벨 유지 센서로 수평 유지

AT 시리즈의 진동전달률

 

8. 밀폐식 공기스프링 유닛 NPC 시리즈

 - 방진고무와 공기스프링 양쪽의 특성을 가지며,

   낮은 고유진동수와 높은 감쇠 성능

 - 자동 레벨 조정기와 조합하여 스테이지가 이동하거나,

   중량이 변하더라도 정반(작업면)을 일정한 높이로 유지

NPC 시리즈의 진동전달률

 

9. 고성능 공기스프링 유닛 AMP 시리즈

 - 공기스프링에 진자를 채용하여 6 자유도

   모두 뛰어난 제진 효과

 - 고성능, 고감쇠로 안정성이 뛰어남

 - 공기스프링에 과부상 방지 기구를 내장

 - 고유진동수

   수직방향: 1.5~2.5Hz, 수평방향: 0.8~1.5Hz

 - 공진배율: 8~15dB

AMP 시리즈의 진동전달률 [빨간색: 수직, 파란색: 수평]