株式会社 昭和サイエンス (Showa Science)는 1974년 4월 19일에 설립된 회사인데 1986년 일본 최초로 액티브 제진대를 개발한 곳입니다. 액티브 제진대는 유닛 타입만 만들고 있는데 예전에 2가지 종류만 있었던 것이 지금은 4가지로 늘어났습니다. 탁상형 제품은 우리나라의 대일시스템에서 생산한 제품을 수입하여 판매하고 있습니다.
여담이지만 2007년쯤 코엑스에서 하는 Semicon 전시회에 갔을 때 실제로 제품을 볼 기회가 있었는데 쇼와 사이언스의 직원이 영어로 설명을 하고 있는 도중에 일본어로 해달라고 부탁했더니 표정이 변하면서 아주 친절하게 설명을 해줬던 기억이 있습니다.
※ 제품 설명에 중복되는 내용이 많아서 일부는 생략하였습니다.
VAAV 전용의 초 고감도 가속도 센서를 탑재하여 극 미세 진동을 정확하게 파악합니다. 독자적인 액티브 제진 알고리즘으로 고속 연산을 하고, 정밀도 높은 고출력 액추에이터로 진동을 빠르게 제거합니다. 바닥 쪽에도 초 고감도 가속도 센서를 배치하여 피드 포워드 제어로 세계 최고 수준의 제진 성능을 달성했습니다. 공진 현상이 없는 고성능, 고정밀의 제진 성능을 유지하면서 스테이지의 움직임에 의해 발생한 진동도 동시에 짧은 시간 내로 감쇠시킵니다.
장점
공진이 없는 진동 전달 특성, 저주파에서 고주파까지 초 광대역 제진을 실현하였습니다. 6 자유도의 고정밀 위치 제어로 항상 안정적인 제진 성능과 위치 정밀도를 실현하였습니다. 커다란 하중 이동에도 대응할 수 있는 고속 응답의 대유량 밸브의 선택이 가능합니다. CE 마킹 인증의 안심 안전 설계. (컨트롤러 SAC-07) 스테이지 피드 포워드 기능, 진동 파형 표시 분석 소프트웨어를 기본적으로 내장하고 있습니다.
용도
반도체 제조 및 검사 장비 중에서 미세한 가공이 필요한 웨이퍼와 웨이퍼를 이동시키는 스테이지의 진동 대책으로 사용할 수 있습니다. 액정 제조 및 검사 장비 중에서 갠트리나 스테이지가 크게 이동했을 때 발생하는 진동을 빠르게 감쇠시켜서 즉시 검사와 수정을 할 수 있도록 하는 용도로 사용 가능하며, 택트 타임의 향상에 도움을 줍니다. 초정밀 공작 기계의 큰 하중 이동에 대응하면서 정밀한 가공을 위해 테이블 위의 진동을 제거하는 용도로 사용할 수 있습니다.
장점
VAAV-A 시리즈와 성능이 같지만 장치의 전체적인 높이를 낮출 수 있습니다. 공압 제어로 전 방향의 변위, 위치 제어가 매우 정밀합니다.
장점
공진이 없는 진동 전달 특성을 가집니다. VAAV 시리즈 중에서 가장 부드러운 공기 스프링을 탑재하였기 때문에 최고의 제진 성능을 가지고 있습니다. 공압 제어로 전 방향의 변위, 위치 제어가 매우 정밀합니다. 특히 진동에 민감한 정밀 측정 기기나 저주파 진동이 심한 설치 장소의 제진 용도로 최적화되어 있습니다.
용도
전자 현미경을 사용할 때 고배율에서 진동에 의해 영상이 흔들리는 것을 방지합니다. 패시브 제진대로 제거할 수 없는 낮은 주파수에 취약한 현미경 분야에서 액티브 제진이 효과를 발휘합니다. 주사 터널 현미경, 원자간력 현미경, 광학 측정 장비 등 특히 진동에 민감한 장비의 진동 대책으로 사용할 수 있습니다.
독자적인 액티브 제진 알고리즘으로 고속 계산하여 공기를 사용하지 않는 초고속 응답의 리니어 액추에이터와 초 고감도 속도 센서로 순식간에 진동을 제거합니다. 하중을 지지하기 위해 공기 스프링을 사용하므로 소형 컴프레서와 전원만 있으면 바닥 쪽에 배치한 초 고감도 속도 센서를 이용한 피드 포워드 제어로 세계 최고 수준의 제진 성능을 체험할 수 있습니다. VAAV-L 시리즈와 동일하게 가장 부드러운 공기 스프링을 사용하기 때문에 최고의 제진 성능을 제공합니다.
장점
공진이 없는 진동 전달 특성을 가집니다. VAAV 시리즈 중에서 가장 부드러운 공기 스프링을 탑재하였기 때문에 최고의 제진 성능을 가지고 있습니다. 리니어 모터 제어로 인해 공기의 소비량이 적은 편입니다. (패시브 제진대와 같습니다.) 특히 진동에 민감한 정밀 측정 기기나 저주파 진동이 심한 설치 장소의 제진 용도로 최적화되어 있으며, VAAV 시리즈 중에서 가성비가 가장 좋습니다.
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