明立精機株式会社 (Meiritz Seiki)는 1968년 9월에 설립된 회사인데 예전에는 회사명의 영어 표기를 Meiritsu라고 하였으나 몇 년 전부터는 Meiritz로 표기하고 있습니다. 예전에 글을 쓸 당시에는 탁상형, 데스크형의 MATIS와 유닛형의 MAPS로 분류되어 있었는데 MAPS는 그대로지만 탁상형, 데스크형은 각각 ME, ME-D로 바뀌었고, MRZ라는 제품이 새로 추가되었습니다.
- 6 자유도 액티브 제어
상판의 진동을 상시 모니터링하여 내장된 액추에이터로 역위상의 힘을 가하여 진동을 제어합니다.
- 자동 액티브 조절 및 자동 레벨링
액티브 제어에 필수인 게인 조절은 메이리츠 오리지널의 제어 시스템을 통해 자동으로 최적화됩니다.
- 장비에 좌우되지 않는 제진 성능
소형 SPM과 같이 무게가 적은 장비를 사용하더라도 제진 성능의 감소 없이 사용할 수 있습니다.
- 적용 분야
현미경 시스템, 계측기기, 계량기기, 나노 표면 분석
- 6 자유도 액티브 제어
상판 및 설치된 장소의 진동을 상시 모니터링하여 내장된 액추에이터로 역위상의 힘을 가하여 진동을 제어합니다.
- 자동 액티브 조절 및 자동 레벨링
액티브 제어에 필수인 게인 조절은 메이리츠 오리지널의 제어 시스템을 통해 자동으로 최적화됩니다.
- 전원만으로 작동
사용하기 위해서는 전원만 있으면 됩니다. 컴프레서 등으로 공기(에어)를 공급할 필요가 없습니다.
- 적용 분야
스캐닝 프로브 현미경(SPM), 공초점 레이저 현미경, 간섭계 시스템, 3차원 형상 측정기, 레이저 변위계 시스템, 기타 정밀 측정 및 정밀 가공 기계.
- 크기는 작지만 전체 자유도의 진동에 대응
MAPS 시리즈 액티브 제진 시스템은 컴팩트한 형상에 수직용, 수평용 공압 액추에이터를 조합한 유닛 타입의 제품입니다. 4개의 유닛을 사용하여 전체 자유도의 진동에 대해 뛰어난 제진 성능과 위치 결정 성능을 발휘합니다.
- 패시브 제진으로 대응이 어려운 대역의 진동도 제거
패시브 제진의 경우 고유 진동에 의한 공진이 문제가 되는 경우가 종종 있지만 액티브 제진을 통해서 고유 진동의 공진을 제거할 수 있습니다. 또한 저주파 대역에서 우수한 제진 성능을 얻을 수 있습니다. 예를 들어, 패시브 제진이 취약한 2Hz 부근의 저주파 진동을 1/30~1/100 이하로 줄일 수 있습니다.
- 표준 MAPS로 10톤 이상의 장비도 제진 가능
최근의 정밀기기는 기능이 추가됨에 따라 점점 대형화되는 추세입니다. 총중량 10톤이 넘어가는 장치도 이미 개발되어 있습니다. 장치의 대형화로 장치 자체의 고유 진동수를 높은 상태로 유지하기 어려워진 탓에 보통은 문제가 되지 않았던 저주파 진동의 영향을 받기 쉬운 상황이 되었습니다.
- 스테이지 등의 가동 장치를 탑재해도 흔들리지 않습니다.
부드러운 탄성체로 지지하여 제진하는 패시브 제진 장치는 X-Y 스테이지와 같이 움직이는 장치를 탑재하면 전체가 크게 흔들려서 오히려 진동을 증폭시키는 경우도 있습니다. 액티브 제진은 정지 상태를 항상 유지할 수 있도록 피드백 제어를 하기 때문에 흔들림을 줄일 수 있습니다. 또한 스테이지의 움직임을 신호로 출력할 수 있다면 진동을 최소화하는 피드 포워드 제어를 할 수 있으므로 흔들림이 거의 없는 환경을 제공할 수 있습니다.
- MAPS는 위치 결정 정밀도와 레벨 정밀도가 뛰어납니다.
장치가 커지면 기울기도 문제가 될 수 있습니다. 장치 자체의 중량에 의해 기울어지거나 밀리거나 하게 되면 정밀도에 상당한 영향을 미칠 수 있습니다. MAPS는 레벨 정밀도를 고려하여 제어하기 때문에 수평을 유지하고, 정밀도를 보장합니다. 그리고 뛰어난 위치 결정 정밀도에 의해 디스크나 기판의 전달도 원활하게 할 수 있습니다.
- MAPS는 작고 사용하기 편한 유닛 타입입니다.
MAPS를 설치할 공간만 있다면 진동에 영향받지 않는 환경을 얻을 수 있습니다. MAPS 시리즈의 제어계는 매우 안정적이기 때문에 내부 시설이나 판매를 위한 제품에도 안심하고 사용하실 수 있습니다.
- 주요 용도
FPD, 반도체 제조 장비, 전자 현미경, 진공 관련 장비, 측정 기기, 초정밀 가공 기기 등.
- 6 자유도 액티브 제어
수직, 수평의 공압 액추에이터를 조합한 유닛 타입으로 패시브 제진이 어려운 대역의 진동도 제진할 수 있습니다.
- 액티브 상태에서 FB + FloorFF 제어를 합니다.
FB: 피드백 제어계
FloorFF: 바닥 진동의 피드포워드 제어계
StageFF: 스테이지 피드포워드 제어계 (옵션)
- 경량, 컴팩트, 저전력, 저렴한 가격
유닛의 경량, 컴팩트화 및 소비 전력의 감소, 낮은 가격을 실현하였습니다.
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