特許機器株式会社 (Tokkyokiki)

 特許機器株式会社 (Tokkyokiki)는 1969년 6월에 설립된 회사로 한국에서는 주로 도쿄기기라고 부르는데 한자를 번역하면 특허기기 주식회사이며, 실제 일본어의 발음은 톳쿄키키에 가깝습니다. 일반적인 제진대 외에도 건물용 제진대나 면진 장치, 자기장 캔슬러 등을 판매하고 있습니다.

 

1. 탁상형 액티브 제진대 δTA

δTA 제품 사진

 공기(에어)가 필요 없는 소형 액티브 제진 장치. 저역 주파수에서 고역 주파수까지 우수한 제진 성능을 가지고 있습니다.

 

 특징

 수직 방향(Z), 수평 2 방향(X, Y) 및 각각의 회전 방향에 대하여 6 자유도 액티브 제어.
 탑재 장비의 무게(평균 하중 0~100kg)나 무게 중심 위치에 관계없이 안정적인 제진 효과를 발휘.
 작동 시에 탑재 기기의 무게 중심 위치를 감지하여 최적의 제어 균형을 자동으로 조정하는 오토 레벨링 기능 내장.
 진동을 발생시키는 부품을 배제하여, 클린룸에서 사용 가능.
 디스플레이 패널로 시야각이 넓고 보기 편한 VFD(진공 형광 디스플레이)를 사용.
 암실에서 사용할 것을 고려하여 패널의 ON/OFF 기능 내장.

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δTA 디스플레이 패널 사진

 용도

 AFM, SPM, 레이저 현미경, 레이저 간섭계, 미소 경도계 그리고 각종 정밀 계측 기기 등.

δTA 진동전달률 [위: 무부하, 아래: 고중심 90kg부하, 왼쪽: X, 가운데: Y, 오른쪽: Z]

 

2. 전자현미경용 액티브 제진대 αL

αL4X-911R1 제품 사진

 특징

 전자현미경에 최적인 저상(높이가 낮은) 타입의 제진대.
 한계까지 낮춘 높이와 X, Y, Z 축은 물론 회전축까지(6 자유도) 제어.

 

3. 공압 액티브 진동 제어 유닛 α 시리즈

α시리즈 제품 사진

 특징

 공진이 없는 우수한 제진 특성.
 무게 중심의 변화에 대한 신속한 반응 속도.
 100톤 급의 초고하중 탑재 가능.
 10점 이상의 다점 지지 가능.

 

 용도

 장치의 요구사항에 따라서 3가지 종류로 구분합니다.
 제진(除振) 성능이 중요한 장치 - L 타입
 제진(除振)과, 제진(制振) 성능이 모두 중요한 장치 - M 타입
 제진(制振) 성능이 중요한 장치 - H 타입
 除振: 외부의 진동이 장비에 전달되지 않도록 하는 것.
 制振: 진동이 짧은 시간 내에 멈추도록 하는 것.

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α 시리즈 제진(制振)성능 및 제진(除振)성능 [빨강: L타입, 녹색: M타입, 파랑: H타입]

δTA 카탈로그

αL 카탈로그

α 시리즈 카탈로그