倉敷化工株式会社 (Kurashiki Kako)는 1964년 3월에 설립된 회사인데 액티브 제진대뿐만 아니라 다양한 종류의 방진고무, 건물용 제진대 등의 제품을 만들어서 판매하고 있습니다. 아마도 고무와 같은 화학공업 제품을 주로 취급하다 보니 회사 이름에 화공(化工)을 넣지 않았을까 하는 생각입니다.
구라시키 제진대의 특징은 짐벌(김벌) 피스톤을 사용한 것으로 특히, 돔 짐벌 피스톤이라는 기술을 적용하여 수평 방향의 제진 성능을 기존의 패시브 제진대에 비하여 한층 더 개선한 제품도 있습니다. 구라시키의 제진대는 크게 e-Stable과 P-Stable 모델로 나뉘는데 전자는 액티브 제진대, 후자는 패시브 제진대입니다. e-Stable은 탁상형 제품인 mini series, 리니어 모터 방식의 L series 그리고 공압 방식의 제품으로 분류하고 있습니다.
- 6 자유도 액티브 제진
모든 주파수에서 공진이 존재하지 않는 뛰어난 제진 효과를 얻을 수 있습니다.
- LCD 모니터 장착
제진대의 가속도 시간 파형과 스펙트럼을 표시합니다.
- Cleanroom에서 사용 가능
공기(에어)를 공급할 필요가 없습니다.
- Auto Levelling & Clamp
버튼 조작으로 자동 수평 조절이나 제품을 고정할(제품 이동시 사용) 수 있습니다.
- USB 통신
USB 통신을 통해 진동 상태를 관측하거나 원격으로 Clamp(고정) 등을 할 수 있습니다.
- 용도
SPM, AFM, 레이저 현미경, 전자저울, 미소 경도계, 레이저 간섭계, 백색 간섭계, 표면 조도 측정기, 탁상형 SEM, 하드디스크 제조장치, 마이크로 매니퓰레이터 등.
2. 액티브 제진 유닛 L series
- LH TYPE
돔 짐벌 피스톤과 코일 스프링의 하이브리드 구조를 사용합니다. 무게중심이 높은 장치에 적합합니다.
- 용도
투과형, 주사형 전자 현미경 등.
- LHKP TYPE (제진[制振] 리니어 액티브 제진대)
공기(에어)를 거의 소비하지 않아서 소형 컴프레서로도 사용 가능합니다. 액추에이터로 고추력 리니어 모터를 사용하였으며, MFF(모션 피드 포워드) 기능을 탑재하였습니다.
3. 액티브 제진 유닛 공압 방식
- 독자적인 KEAP 제어와 비연성 제어, Stage Feed Forward 제어를 통해 모든 주파수에서 우수한 제진 성능, 외력에 대한 제진 성능을 제공합니다.
- A TYPE
저하중에 적절한 타입입니다. 수직 및 수평 방향의 공기 스프링에 짐벌 피스톤을 사용하였고, 서보 밸브로 각각의 공기 스프링을 액티브 제어하고 있습니다. 액추에이터로 공기 스프링을 사용하여 큰 제어력을 얻을 수 있으므로 제진에 적합합니다.
- B TYPE
고하중에 적절한 타입입니다. 수직 방향의 공기 스프링을 다단 구조로 배치했습니다. 또한 공기 스프링의 공기실을 최대한 작게 만들어서 제진 성능을 향상했습니다.
- 제진 성능
기존의 제어 방법이 아니라 독자적인 기술인 피드백 KEAP 제어(FBKEAP), 피드 포워드 KEAP 제어(FFKEAP)는 스테이지 이동 시에 진폭의 변화가 적고, 스테이지 이동 후 빠르게 목표 위치에 수렴합니다.
- BLI TYPE
고하중에 적합하며, 높이가 190mm로 기존의 B TYPE 보다 낮은 제품입니다. 아이솔레이터 1개당 탑재 가능한 최대 하중이 3000kg 및 6000kg으로 두 가지 모델이 있습니다.
3. 액티브 제진 유닛 리니어 모터 방식 MB type (액티브 멀티플 베이스)
- 범용성, 대응력이 매우 향상.
- 새로운 설계 방식의 멀티플 구조를 비롯하여 혁신적인 기술을 담았습니다.
- 멀티플 구조로 정반이나 받침대가 필요 없습니다.
- 장비에 맞춰서 제진 유닛을 최대 8개까지 조합 가능합니다.
- 유닛 1개당 15kg으로 가볍고 작은 크기, 최대 탑재 하중은 1개당 250kg.
- 오토 레벨링, 오토 튜닝 기능을 구현.
- 웹 애플리케이션을 통해 고객이 직접 진동 파형을 확인하거나 파라미터의 상세 설정을 할 수 있습니다.
- 에어 공급이 불필요.
- 6 자유도 액티브 제진.
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