액티브 제진대 - 머리말

 디스플레이나 반도체 생산 공장을 살펴보면 주로 고층 건물이 많습니다. 그런데 진동은 건물의 높이가 높을수록 심해지기 때문에 건물을 아무리 튼튼하게 짓는다 해도 7층이 1층보다 더 나은 진동 환경을 가질 가능성은 매우 희박합니다. 게다가 각종 장비들의 부속 장비와 배관, 배선 등의 설치를 위한 공간 때문에 1, 2층과 같이 낮은 층에 공정실을 만드는 회사는 거의 없습니다. 따라서  제작 공정이 지속적으로 발전한다면 기존의 제진대로는 장비의 진동 조건을 만족시키기 힘든 상황이 발생할 수 있습니다.

 이러한 상황에서 액티브 제진대(Active Isolator)의 사용을 고려하게 됩니다. 물론 튼튼한 기초 공사와 진동 발생을 최소화하는 장비 배치나 장비 설계 등으로 진동 문제를 해결할 수도 있지만, 그러한 해결책을 사용할 수 없는 경우에는 액티브 제진대 사용이 하나의 대책이 될 수 있습니다. 다만 액티브 제진대는 패시브 제진대에 비해 가격이 비싸다는 단점이 있는데, 경우에 따라서는 다른 방식으로 진동 문제를 해결하는 것에 비해 여러모로 더 효율적인 해결책이 될 수도 있습니다.

 그래서 앞으로 액티브 제진대에 대해서 알아볼 텐데, 예전에 글을 쓸 때에는 자체적으로 액티브 제진대를 개발, 판매하는 회사가 국내에는 없었기 때문에 일본이나 미국, 독일 등의 회사만 소개했습니다. 지금은 국내에도 몇몇의 회사가 생겼지만 홈페이지에 각종 자료나 설명이 충분하기 때문에, 이번에도 마찬가지로 해외의 회사들에 대해서만 글을 쓰고자 합니다. 그 회사들은 아래와 같습니다.

 

일본

1. 倉敷化工株式会社 (Kurashiki Kako)​
2. 明立精機株式会社 (Meiritsu Seiki)
3. 株式会社 昭和サイエンス (Showa Science)
4. 特許機器株式会社 (Tokkyokiki)

 

미국, 독일

1. Park Systems Accurion (Halcyonics)
2. Bilz AG
3. IDE
4. Newport
5. TMC
6. TableStable
7. K&S Advanced Systems

 

기타

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